SF6氣體檢漏儀長期工作應注意泵油是否充足，泵內存油不得低于油標中心，油量不足將會影響工作性能，甚至損壞零件，油品是否清潔，對泵的真空度有影響。一般抽除干燥氣體約600-1000小時應進行更換新油，更換新油先開泵運轉30分鐘，使油變稀，旋開放油塞使泵腔內污油全部放出，再從加油孔加入一定新油，啟動電機運轉數秒鐘，對泵內部進行清洗，操作2-3次，達到清潔后放凈污油，裝上放油塞，再從加油孔注入新泵油至油窗中心，旋上加油塞。油采用HFV-1真空泵油，注意不得低于中心，但亦不能高出整個油窗，否則會產生噴油現象。